近日、迈为股份自主研发的半导体晶圆热压键合设备成功交付国内MEMS传感器头部企业,该批设备将应用于客户先进MEMS传感器的规模化生产线。
迈为股份は半導体ウェーハの熱圧接合装置を提供し、MEMSセンサーの主要企業に納入しています。
近日、迈为股份自主研发的半导体晶圆热压键合设备成功交付国内MEMS传感器头部企业,该批设备将应用于客户先进MEMS传感器的规模化生产线。