Samsung Electronics teste les masques vierges EUV domestiques (101490) de S&S Tech dans son environnement de production de masse en fonderie 4 nm. Cela marque la première fois que ces masques ont été introduits sur une ligne de production réelle

L'objectif est de réduire la dépendance à Hoya au Japon, renforcer la résilience de la chaîne d'approvisionnement et obtenir plus de pouvoir de fixation des prix
Samsung aurait apparemment donné des retours à S&S Tech pour améliorer la qualité, tandis que S&S Tech a déjà investi massivement dans des équipements d'inspection et une nouvelle usine à Yongin pour soutenir l'effort. Si la localisation réussit, Samsung pourrait économiser des dizaines de milliards de wons par an et réduire les délais de livraison, bien que les commandes de production en série puissent encore prendre de six mois à plus d'un an
« Je comprends que les masques S&S Tech sont utilisés dans le processus EUV, qui est relativement moins exigeant même dans le nœud de 4 nm, a déclaré un insider de l'industrie. Le fait qu'ils testent des échantillons sur une ligne de production en série montre un engagement fort envers la localisation. » L'insider a ajouté que Samsung vise à réduire sa dépendance à Hoya au Japon et, avec le temps, à sécuriser un plus grand pouvoir de fixation des prix
Un masque vierge est le matériau de base pour les masques photolithographiques utilisés pour transférer les motifs de circuits sur les wafers lors de la fabrication de semi-conducteurs. Il est généralement fabriqué en déposant une fine couche de métal ou de composé sur un substrat en verre de haute pureté. Les fabricants de puces gravent ensuite les motifs de circuits sur le masque vierge pour créer le masque photolithographique final
Les masques vierges EUV diffèrent considérablement des produits traditionnels à ultraviolet profond, ou DUV. Les masques vierges DUV sont transmissifs, ce qui signifie que la lumière ultraviolette passe à travers le substrat pour former des motifs sur le wafer. Les masques vierges EUV, en revanche, sont réfléchissants, ce qui signifie que la lumière ultraviolette extrême est réfléchie plutôt que transmise. Ils sont fabriqués en alternant des dizaines de couches, environ 40 paires, de molybdène et de silicium sur un substrat en verre. En raison de la courte longueur d'onde de l'EUV, même des défauts extrêmement petits peuvent être critiques, ce qui rend la fabrication et l'inspection beaucoup plus exigeantes
Début l'année dernière, S&S Tech a investi plus de 40 milliards de wons dans des équipements d'inspection de Lasertec, au Japon, pour sa ligne de masques vierges EUV. L'équipement aurait été installé dans la nouvelle usine de Yongin, que la société a achevée en octobre de l'année dernière
Samsung Electronics importe actuellement la majorité de ses masques vierges EUV du Japon, Hoya. Cependant, elle a rencontré plusieurs problèmes d'approvisionnement par le passé en raison de perturbations telles que des tremblements de terre au Japon. Bien qu'Hoya ait étendu sa production à Singapour pour résoudre ces problèmes, des inquiétudes subsistent dans l'industrie des semi-conducteurs
Les masques vierges EUV coûtent des dizaines de millions de wons par feuille, tandis que les versions haut de gamme peuvent dépasser 100 millions de wons. Samsung s'attendrait à des économies annuelles de dizaines de milliards de wons, ainsi qu'à des délais de livraison plus courts, si S&S Tech parvient à localiser avec succès l'approvisionnement
« Je comprends que S&S Tech travaille maintenant sur des améliorations pour réduire la génération de particules après avoir reçu des retours de Samsung Electronics, a déclaré un officiel de l'industrie. Il pourrait falloir de six mois à plus d'un an avant que les commandes en série ne soient émises. »